必须知道的真空设备检漏的注意事项

为了保证真空设备或系统具有良好的密封性能，仅仅在设备安装完毕后去寻求漏孔的位置，堵塞漏孔的通道是远远不够的。有必要在真空设备或系统的设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行真空检漏工作。

1、根据设备的工艺要求，确定真空设备的总的大允许漏率，并依据这一总漏率确定各组成部件的大允许漏率。

2、根据设备的大允许漏率等指标，在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法，并将其作为指导调试验收的基本原则之一。

3、根据设备或部件的大允许漏率指标，决定设备的密封、连接方式和总体加工精度，以及何种动密封形式能够满足要求。如，法兰采用金属密封或橡胶密封。

4、容器结构强度设计时，考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。

5、选择零部件结构材料时，考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。

6、结构设计时，在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口，以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统，通常需要采用分段检漏方法，因此在管路上要设置分段隔离的阀门，并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。

7、零件结构设计时，尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式，因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出，形成虚漏。从而延长系统抽气时间，干扰检漏正常进行。如图真空检漏中不应出现的结构。

8、与此类似，结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构，因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏；而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时，“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长，无法正常检漏。

9、焊接结构设计时，尽量减少总装后无法检漏的焊缝。

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